MONOZUKURI ドライプロセスによるナノ構造作製技術の開発
| 執筆者 | 小幡勤、丹保浩行 |
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| 利用状況 | ダウンロード可 |
| 対応分野 |
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| キーワード | インプリント 、ドライプロセス、パリレン 、転写 |
| 刊行年度 | 2017年度 |
| 文献分類 | 成果報告書 |
| 掲載元 | 富山県工業技術センター研究報告 No.31 2017 |
| お問い合わせ | 産業技術研究開発センター |
| 郵便番号 | 〒933-0981 |
| 所在地 | 富山県高岡市二上町150 |
| TEL | 0766-21-2121 |
| FAX | 0766-21-2402 |
| 備考 |