成果報告・文献 詳細

機能性表面を有する超精密加工用ダイヤモンドエ具の開発

執筆者 川堰宣隆、清水孝晃
利用状況 ダウンロード可
対応分野
  • 加工
キーワード 超精密加工、 ダイヤモンド工具、 集束イオンビーム、 切削工具
刊行年度 2016年度
文献分類 成果報告書
掲載元 富山県工業技術センター研究報告 No.30 2016
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