機能性表面を有する超精密加工用ダイヤモンドエ具の開発
執筆者 | 川堰宣隆、清水孝晃 |
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利用状況 | ダウンロード可 |
対応分野 |
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キーワード | 超精密加工、 ダイヤモンド工具、 集束イオンビーム、 切削工具 |
刊行年度 | 2016年度 |
文献分類 | 成果報告書 |
掲載元 | 富山県工業技術センター研究報告 No.30 2016 |
お問い合わせ | 産業技術研究開発センター |
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