成果報告・文献 詳細

AFMリソグラフィーを用いたナノ3Dプリンター技術の開発 

執筆者 横山義之、角田龍則
利用状況 ダウンロード可
対応分野
  • 加工
  • 化学
キーワード 微細加工、原子間力顕微鏡、金属ナノ粒子
刊行年度 2015年度
文献分類 成果報告書
掲載元 富山県工業技術センター研究報告 No.29 2015
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