成果報告・文献 詳細

ドライエッチングと精密切削加工を併用したポリマーマイクロノズルの作製とその応用

執筆者 鍋澤浩文、川堰宜隆
利用状況 ダウンロード可
対応分野
  • 加工
キーワード ドライエッチング、 精密切削、 マイクロノズル、 ゲルファイバー
刊行年度 2014年度
文献分類 成果報告書
掲載元 富山県工業技術センター研究報告 No.28 2014
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