成果報告・文献 詳細

集束イオンビームを応用した超精密加工用工具の開発と応用 

執筆者 川堰宣隆、杉森博
利用状況 ダウンロード可
対応分野
  • 加工
キーワード 超精密加工、ダイヤモンド工具、集束イオンビーム、切削工具
刊行年度 2014年度
文献分類 成果報告書
掲載元 富山県工業技術センター研究報告 No.28 2014
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