集束イオンビームによるダイヤモンド工具の高機能化と表面機能創生への応用
執筆者 | 川堰宣隆 |
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利用状況 | ダウンロード可 |
対応分野 |
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キーワード | 超精密加工 / 微細加工 / ダイヤモンド工具 / テクスチャ / 集束イオンビーム / 超精密切削加工 / 機能性表面 |
刊行年度 | 2019年度 |
文献分類 | 成果報告書 |
掲載元 | 富山県産業技術研究開発センター研究報告 |
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所在地 | 富山県高岡市二上町150 |
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