MONOZUKURI 低コストで環境負荷の低い微細加工工程に関する研究とその応用に向けた検討
| 執筆者 | 升方康智、奈須野雅明、室 慧悟 |
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| 利用状況 | ダウンロード可 |
| 対応分野 |
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| キーワード |
微細加工 環境負荷 MEMS |
| 刊行年度 | 2023年度 |
| 文献分類 | 成果報告書 |
| 掲載元 | 富山県産業技術研究開発センター研究報告 |
| お問い合わせ | ものづくり研究開発センター |
| 郵便番号 | 〒933-0981 |
| 所在地 | 富山県高岡市二上町150 |
| TEL | 0766-21-2121 |
| FAX | 0766-21-2402 |
| 備考 |