MONOZUKURI 表面微細構造による濡れ性制御に関する研究技術の開発
| 執筆者 | 升方康智、奈須野雅明、室 慧悟、杉田涼輔、小幡 勤 |
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| 利用状況 | ダウンロード可 |
| 対応分野 |
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| キーワード |
半導体微細加工 Si 濡れ性 |
| 刊行年度 | 2023年度 |
| 文献分類 | 成果報告書 |
| 掲載元 | 富山県産業技術研究開発センター研究報告 |
| お問い合わせ | ものづくり研究開発センター |
| 郵便番号 | 〒933-0981 |
| 所在地 | 富山県高岡市二上町150 |
| TEL | 0766-21-2121 |
| FAX | 0766-21-2402 |
| 備考 |