銅配線への磁性体膜形成
執筆者 | 角田龍則、坂井雄一 |
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利用状況 | ダウンロード可 |
対応分野 |
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キーワード |
磁性体粉末 円状銅配線 近接効果 |
刊行年度 | 2023年度 |
文献分類 | 成果報告書 |
掲載元 | 富山県産業技術研究開発センター研究報告 |
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