MONOZUKURI 走査型電子顕微鏡
本装置は、試料の表面に電子線を照射し、検出される二次電子や反射電子によって、高倍率で表面を観察するための設備です。 また、エネルギー分散型Ｘ線分析装置を備えており、特性Ｘ線による元素分析も可能です。
| 利用状況 | 依頼試験のみ |
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| 対応分野 |
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| 使用目的 |
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| メーカー | 日本電子(株)、オックスフォート・インストゥルメンツ(株) |
| 型式・番号 | JSM-IT300LV、X-Max^N |
| 導入年度 | 2016年度 |
| ポイント・仕様 |
・走査型電子顕微鏡本体(SEM) 加速電圧: 0.3kV～30kV 倍率: 5～300,000倍 最大試料寸法: 直径200mm×高さ80mm ・エネルギー分散型Ｘ線分析装置本体(EDS) 方式: SDDタイプ(ペルチェ冷却) 検出素子サイズ: 20m㎡ 分析可能元素: B～U |
| 用途 | 高倍率での表面観察・元素分析をすることができるため、付着した微小な異物等の分析や材料中の元素の分布など、品質管理から研究開発まで幅広い分野で有効的に活用することができます |
| 活用事例 | |
| 利用上の注意 | |
| 使用料（県内）円/時間 | 10,440円～ |
| 使用料（県外）円/時間 | 15,660円～ |
| 設置場所（所属名） | 産業技術研究開発センター |
| 担当機関 | ものづくり研究開発センター |
| 郵便番号 | 〒933-0981 |
| 所在地 | 富山県高岡市二上町150 |
| TEL | 0766-21-2121 |
| FAX | 0766-21-2402 |
| 備考 | 本設備は、経済産業省資源エネルギー庁補助事業－電源立地地域対策交付金－で導入しました。 |