MONOZUKURI 小型スパッタ装置
真空中にアルゴン及び酸素ガスを導入し、直流及び高周波マグネトロンスパッタにより、精密に薄膜を作製します。
| 利用状況 | 設備利用・予約可 |
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| 対応分野 |
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| 使用目的 |
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| メーカー | アルバック(株) |
| 型式・番号 | SH-250-T4 |
| 導入年度 | 2004年度 |
| ポイント・仕様 | ターゲットサイズ：3インチφ×3式 基板温度：最高400℃ 電源：RF及びDC各1基 逆スパッタリング、重畳放電及びバイアススパッタリングが可能 |
| 用途 | ガラス、プラスチックス、金属などの基材の上に、高品質の金属膜、セラミックス膜を高速成膜 |
| 活用事例 | |
| 利用上の注意 | |
| 使用料（県内）円/時間 | |
| 使用料（県外）円/時間 | |
| 設置場所（所属名） | 産業技術研究開発センター |
| 担当機関 | ものづくり研究開発センター |
| 郵便番号 | 〒933-0981 |
| 所在地 | 富山県高岡市二上町150 |
| TEL | 0766-21-2121 |
| FAX | 0766-21-2402 |
| 備考 | 本設備は、公益財団法人JKA(旧日本自転車振興会)補助事業で導入しました。 |