大容量超純水製造装置
利用状況 | 依頼試験のみ |
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対応分野 |
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使用目的 |
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メーカー | オルガノ(株) |
型式・番号 | |
導入年度 | 2002年度 |
ポイント・仕様 |
比抵抗値:18MΩ・cm以上 TOC:100μg/L以下 採水量:max1000L/時 |
用途 | 半導体製造に供する超純水の製造 |
活用事例 | |
利用上の注意 | |
使用料(県内)円/時間 | |
使用料(県外)円/時間 | |
設置場所(所属名) | 産業技術研究開発センター |
担当機関 | ものづくり研究開発センター |
郵便番号 | 〒933-0981 |
所在地 | 富山県高岡市二上町150 |
TEL | 0766-21-2121 |
FAX | 0766-21-2402 |
備考 |