MONOZUKURI オスミウムコーター
本装置は、試料表面にオスミウムを蒸着・コーティングすることで試料に導電性を与える装置です。複雑な形状の試料であっても、均一で薄い膜が安定して形成できます。
| 利用状況 | 設備利用・予約可 |
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| 対応分野 |
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| 使用目的 |
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| メーカー | メイワフォーシス株式会社 |
| 型式・番号 | Neoc-Pro/PNM57 |
| 導入年度 | 2024年度 |
| ポイント・仕様 |
・最小膜厚設定：0.5nm ・チャンバー寸法：150mm（直径）×70mm（高さ） ・試料台装 填可能数：10mm（直径）×35個、 15mm（直径）×10個、30mm（直径）×5個 |
| 用途 |
SEMによる表面観察やオージェ分析をおこなう試料の微細な表面に、導電性を付与するために利用されます。 金コーターによる前処理では対応しきれない複雑な表面形状を有する試料において、均一なオスミウムの導電膜が、安定かつ容易に成膜できます。 |
| 活用事例 | |
| 利用上の注意 | |
| 使用料（県内）円/時間 | 580 |
| 使用料（県外）円/時間 | 870 |
| 設置場所（所属名） | 産業技術研究開発センター |
| 担当機関 | 機械電子研究所 |
| 郵便番号 | 〒930-0866 |
| 所在地 | 富山県富山市高田383番地 |
| TEL | 076-433-5466 |
| FAX | 076-433-5472 |
| 備考 |