MONOZUKURI 精密薄膜作製装置
| 利用状況 | 依頼試験のみ |
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| 対応分野 |
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| 使用目的 |
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| メーカー | ULVAC |
| 型式・番号 | |
| 導入年度 | 1990年度 |
| ポイント・仕様 |
マグネトロンスパッタ装置 RF電源：1,000W 到達圧力：1.3×10-4Pa |
| 用途 | 金属、セラミックス材料による多層薄膜の作製 |
| 活用事例 | |
| 利用上の注意 | |
| 使用料（県内）円/時間 | |
| 使用料（県外）円/時間 | |
| 設置場所（所属名） | 産業技術研究開発センター |
| 担当機関 | 機械電子研究所 |
| 郵便番号 | 〒930-0866 |
| 所在地 | 富山県富山市高田383番地 |
| TEL | 076-433-5466 |
| FAX | 076-433-5472 |
| 備考 |