MONOZUKURI 試料断面作製装置
試料にアルゴンイオンビームを照射し、数mm程度の幅で試料の研磨課工を行い、SEM観察や元素分析を行う試料を作製。
| 利用状況 | 依頼試験のみ |
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| 対応分野 |
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| 使用目的 |
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| メーカー | (株)日立ハイテクノロジーズ |
| 型式・番号 | E-3500 |
| 導入年度 | 2007年度 |
| ポイント・仕様 |
最大加工スピード：Si換算で100μm/h． 加工範囲：数mm 最大試料サイズ：20mm×12mm×5mm |
| 用途 | 各種材料の断面のSEM観察や元素分析等を行う際の前処理。 |
| 活用事例 | |
| 利用上の注意 | |
| 使用料（県内）円/時間 | |
| 使用料（県外）円/時間 | |
| 設置場所（所属名） | 産業技術研究開発センター |
| 担当機関 | 機械電子研究所 |
| 郵便番号 | 〒930-0866 |
| 所在地 | 富山県富山市高田383番地 |
| TEL | 076-433-5466 |
| FAX | 076-433-5472 |
| 備考 |