MONOZUKURI 走査型プローブ顕微鏡
本装置は、試料表面を微小なプローブ(探針)で走査し、試料の3次元形状や局所的な物性(粘弾性、摩擦力、電流、表面電位、磁気勾配など)をナノスケールで観察する顕微鏡である。大型の試料や、液中・加熱冷却下での測定も可能である。
| 利用状況 | 依頼試験のみ |
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| 対応分野 |
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| 使用目的 |
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| メーカー | ブルカー・エイエックスエス(株) |
| 型式・番号 | Dimension Icon |
| 導入年度 | 2012年度 |
| ポイント・仕様 |
・分解能：XY方向0.2nm、Z方向0.03nm ・最大試料サイズ：直径210mm、厚さ15mm ・測定モード：3次元形状、粘弾性、摩擦力、電流、表面電位、磁気力、圧電応答 ・測定雰囲気：大気中、液中、加熱冷却(-5℃～250℃) |
| 用途 | |
| 活用事例 | |
| 利用上の注意 | |
| 使用料（県内）円/時間 | 2370 |
| 使用料（県外）円/時間 | 3550 |
| 設置場所（所属名） | 産業技術研究開発センター |
| 担当機関 | 機械電子研究所 |
| 郵便番号 | 〒930-0866 |
| 所在地 | 富山県富山市高田383番地 |
| TEL | 076-433-5466 |
| FAX | 076-433-5472 |
| 備考 | 本設備は経済産業省資源エネルギー庁補助事業－電源立地地域対策交付金－で導入しました。 |