MONOZUKURI 集束イオンビーム加工機
金属素材や電子デバイスなどの製品に対し、局所的にイオンビームを照射することで透過型電子顕微鏡(TEM)用の薄片試料加工や表面に機能性付与のための微細形状加工などを行う加工観察装置です。
| 利用状況 | 設備利用・予約可 |
|---|---|
| 対応分野 |
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| 使用目的 |
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| メーカー | (株)日立ハイテク |
| 型式・番号 | FB2200 |
| 導入年度 | 2010年度 |
| ポイント・仕様 |
・Ga液体金属イオン源 ・最大ビーム電流 60nA ・マイクロサンプリング機能 ・最大試料サイズ Φ75 × 15(h) mm |
| 用途 |
TEM用試料加工(マイクロサンプリング ⇒ 薄片化) 表面微細形状加工 断面加工観察 |
| 活用事例 | |
| 利用上の注意 | |
| 使用料（県内）円/時間 | 7060 |
| 使用料（県外）円/時間 | 10590 |
| 設置場所（所属名） | 産業技術研究開発センター |
| 担当機関 | ものづくり研究開発センター |
| 郵便番号 | 〒933-0981 |
| 所在地 | 富山県高岡市二上町150 |
| TEL | 0766-21-2121 |
| FAX | 0766-21-2402 |
| 備考 | 本設備は、独立行政法人 科学技術振興機構(JST)地域産学官共同研究拠点整備事業で導入しました。 |