MONOZUKURI ＴＥＭ用試料作製装置
試料にArイオンビームを照射し、電子線が透過できるように、数十nmの薄片化処理を行う。
| 利用状況 | 設備利用・予約可 |
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| 対応分野 |
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| 使用目的 |
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| メーカー | 日本電子(株) |
| 型式・番号 | EM-09100IS |
| 導入年度 | 2010年度 |
| ポイント・仕様 |
イオン加速電圧：1～8kV エッチングレート：Si換算で5μm/min エッチング自動停止機能 CCDカメラによる加工経過観察機能 |
| 用途 | 金属·高分子材料や製品の薄い試験片を透過型電子顕微鏡(TEM)観察が出来るように数十nm の厚みの薄片に加工する。 |
| 活用事例 | |
| 利用上の注意 | |
| 使用料（県内）円/時間 | 2200 |
| 使用料（県外）円/時間 | 3300 |
| 設置場所（所属名） | 産業技術研究開発センター |
| 担当機関 | ものづくり研究開発センター |
| 郵便番号 | 〒933-0981 |
| 所在地 | 富山県高岡市二上町150 |
| TEL | 0766-21-2121 |
| FAX | 0766-21-2402 |
| 備考 | 本設備は、独立行政法人 科学技術振興機構(JST)地域産学官共同研究拠点整備事業で導入しました。 |