高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
従来の汎用的な電子顕微鏡よりも高精度(ナノレベル)で観察および分析することができ、セルロースナノファーバーをはじめとする様々な原材料や製品の形状や表面の状態をナノレベルで評価することができます。
利用状況 | 設備利用・予約可 |
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対応分野 |
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使用目的 |
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メーカー | (株)日立ハイテクノロジーズ |
型式・番号 | SU5000 |
導入年度 | 2017年度 |
ポイント・仕様 |
・電子銃:電界放出型電子銃(ショットキー電子銃) ・観察倍率:18~1,000,000倍 ・観察機能:二次電子観察、反射電子観察、透過像観察、低真空観察 ・分析機能:エネルギー分散型X線分析システム(EDS) 結晶方位解析システム(EBSD) |
用途 | 本装置は、表面状態の観察や組成に依存した反射電子観察の他、透過観察、低真空観察ができます。構成元素の分析システム(EDS)や結晶構造の解析システム(EBSD)も備えており、製品開発や不具合の原因調査に利用できます。 |
活用事例 | |
利用上の注意 | |
使用料(県内)円/時間 | 6510 |
使用料(県外)円/時間 | 9760 |
設置場所(所属名) | 産業技術研究開発センター |
担当機関 | ものづくり研究開発センター |
郵便番号 | 〒933-0981 |
所在地 | 富山県高岡市二上町150 |
TEL | 0766-21-2121 |
FAX | 0766-21-2402 |
備考 | 本設備は、文科省:地域産学官連携科学技術振興事業で導入しました。 |