MONOZUKURI イオンミリング装置
試料に、アルゴンイオンを照射し、試料原子を弾き飛ばすことで、任意の試料観察面(断面または表面)の加工・調整ができる装置です。また、-100℃まで冷却可能であり、低温環境下に試料を温度調節して加工する機能も有しています。
| 利用状況 | 設備利用・予約可 |
|---|---|
| 対応分野 |
|
| 使用目的 |
|
| メーカー | (株)日立ハイテクノロジーズ |
| 型式・番号 | 冷却温度調整機能付きIM4000PLUS |
| 導入年度 | 2017年度 |
| ポイント・仕様 |
・試料サイズ ：20×12×7mm(断面加工：線材など) φ50×25mm(表面加工: 埋込試料など) ・最大加工速度：500μm/hr(Si, 断面加工) ・温度調節範囲： -100～0 ℃(断面加工のみ) ・加工可能材料： 樹脂材料、金属材料、セラミックス など |
| 用途 |
アルゴンイオンのスパッタリング現象を応用した加工のため、試料へのダメージを少なくでき、機械研磨などの従来手法では困難な材料でも適用可能です。 本設備は、ひずみや熱影響を抑制できるため、セルロースナノファイバー(CNF)複合化プラスチック材料のCNF分散状態評価をはじめとした高度な試料調整に活用でき、製品開発や品質管理に貢献します。 |
| 活用事例 | |
| 利用上の注意 | |
| 使用料（県内）円/時間 | 2020 |
| 使用料（県外）円/時間 | 3030 |
| 設置場所（所属名） | 産業技術研究開発センター |
| 担当機関 | ものづくり研究開発センター |
| 郵便番号 | 〒933-0981 |
| 所在地 | 富山県高岡市二上町150 |
| TEL | 0766-21-2121 |
| FAX | 0766-21-2402 |
| 備考 | 本設備は、文科省：地域産学官連携科学技術振興事業で導入しました。 |