新規手法による配向性チタン酸バリウム膜の形成機構と配向制御に関する研究
対応分野 |
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キーワード |
・結晶粒 ・結晶方位 ・電子線後方散乱法 ・EBSD ・圧電特性 |
ポイント | |
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