MONOZUKURI フォトレジストパターンの形成
| 対応分野 |
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|---|---|
| キーワード |
・ナノインプリンティング装置 ・アライメント機能 ・露光機能 ・ナノインプリント |
| ポイント | ナノインプリンティング装置は、従来のフォトリソグラフィー技術におけるアライメント機能と露光機能をベースとして、ナノサイズのパターンを形成可能なナノインプリント機能も有しています。 |
| お問い合わせ | 産業技術研究開発センター |
| 郵便番号 | 〒933-0981 |
| 所在地 | 富山県高岡市二上町150 |
| TEL | 0766-21-2121 |
| FAX | 0766-21-2402 |
| 備考 |