生体適合性と感光性を併せ持つ材料の開発
対応分野 |
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キーワード |
バイオレジスト 微小・薄膜 加工 |
ポイント |
薄膜を形成できるバイオレジストの開発 開発したバイオレジストは、シリコン基板上で1μm以下の薄膜を形成でき、薄膜状態でも良好な光パターニングが可能 |
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