銅配線への磁性体膜形成
対応分野 |
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キーワード |
磁性体粉末 円状銅配線 近接効果 |
ポイント | 銅損増加を抑制するため、銅配線上に磁性体粉末含有樹脂膜を形成し、交流抵抗の低減を試みました。 |
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